Toho FLX-2320-S 薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)
- 公司名稱 韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司
- 品牌
- 型號 Toho FLX-2320-S
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2018/8/22 11:03:13
- 訪問次數(shù) 1882
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薄膜應(yīng)力測量：
在硅片等基板上附膜時(shí)，由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異，產(chǎn)生應(yīng)力，進(jìn)而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲，而薄膜應(yīng)力測量裝置FLX系列可從這個(gè)翹曲（曲率半徑）的變化量測量其應(yīng)力。
技術(shù)參數(shù)：
Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力計(jì)精確測量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。
主要特點(diǎn)：
◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統(tǒng)可自動(dòng)選擇最適合的匹配之激光源；
◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測不同溫度下薄膜的應(yīng)力，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃；
◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫，便于新材料研究；
◆形象的軟件分析功能，用于不同測量記錄之間的比較，且測量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔；
◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。
用戶界面：
WINDOWS OS易懂操作界面。
另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫。自動(dòng)保存測量數(shù)據(jù)等方便性能。
每個(gè)用戶可分別設(shè)定訪問權(quán)限。使用自帶軟件實(shí)現(xiàn)簡單卻性能高，簡單測量。
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