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超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/27 13:34:41
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 2779
產(chǎn)品標(biāo)簽

沉積系統(tǒng)

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國(guó)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\(chéng)信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)用戶(hù)提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó),納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征、表面材料物性分析、生物藥物開(kāi)發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄?,?jiàn)證中國(guó)科技水平的提升,與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng)。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)上海設(shè)立了分公司,在國(guó)內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶(hù)提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉(cāng)庫(kù)及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專(zhuān)業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國(guó)外廠家進(jìn)行了專(zhuān)門(mén)的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話(huà)響應(yīng),72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)維修。以利于更好、更快的為中國(guó)大陸服務(wù)!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶(hù)的困難和需求。我們已經(jīng)為國(guó)內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶(hù)的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶(hù)包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國(guó)家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國(guó)科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國(guó)工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)

超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

該系統(tǒng)由全球?qū)I(yè)的沉積設(shè)備商制造,配置多種沉積方式(預(yù)留各種功能接口),高度靈活,非常適合多種沉積模式的科研.

目前該系統(tǒng)的超高真空條件沉積模式(僅用機(jī)械泵+分子泵,極限真空可達(dá)5X10E-10Torr)。多種組合沉積模式,同一腔體實(shí)現(xiàn)多種功能沉積方式,沉積源模式有:
磁控濺射源
電子束蒸發(fā)源
熱蒸發(fā)源


超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

該系統(tǒng)高度靈活,軟件操作方便,專(zhuān)業(yè)為研究機(jī)構(gòu)沉積超純度薄膜,是真正的超高真空沉積系統(tǒng)。
超高真空多腔室物理氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
極限真空:<5x 10E-10 torr(經(jīng)過(guò)24小時(shí)烘烤冷卻后);
鍍膜均勻度:<3%
樣品傳送: 便捷安放上置襯底
機(jī)柜: 占用空間小結(jié)構(gòu);
樣品臺(tái)工作: 旋轉(zhuǎn), 加熱, 加載偏壓;
樣品操作: 預(yù)抽真空室;
樣品尺寸: 1”、 2”、 3”、 4” 、8”、12”等;
膜厚監(jiān)控: 石英晶體微天平, 橢偏儀;
烘烤: 內(nèi)置加熱或外置保溫加熱;
簡(jiǎn)單方便 的全自動(dòng)軟件操作:全自動(dòng)抽取真空并且程序自動(dòng)運(yùn)行。




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