CRESTEC 超高分辨率電子束光刻EBL（CABL-UH series）
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CRESTEC
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 15:31:58
- 訪問次數(shù) 2090
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 150萬-200萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池 |
超高分辨率電子束光刻EBL
Ultrahigh Resolution EB Lithography (CABL-UH series)
納米光刻技術在微納電子器件制作中起著關鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術制作中是好的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀先進納米科技提供 的電子束納米光刻（EBL）系統(tǒng)，或稱電子束直寫（EBD）、電子束爆光系統(tǒng)。
超高分辨率的電子束光刻CABL-UH系列的型號包括：
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)
技術參數(shù)：
加速電壓：高130keV
單段加速能力達到130keV，盡量減少電子槍的長度
超短電子槍長度，無微放電
電子束直徑＜1.6nm
小線寬＜7nm
雙熱控制，實現(xiàn)超穩(wěn)定直寫能力
采購中心
化工儀器網(wǎng)