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AX-LS100 AXIS-TEC激光晶圓劃片機

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似空科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家儀器設(shè)備的經(jīng)銷商。我們致力于為中國制造業(yè)和研發(fā)機構(gòu)提供高精度、符合人體工學(xué)設(shè)計的儀器設(shè)備。我們也夢想有朝一日,能夠充分掌握市場需求,深刻理解儀器設(shè)備的技術(shù)原理,聚集一批有激情、有理想、有技術(shù)的人,為中國的制造業(yè)升級以及中國科研走向世界,提供自有知識產(chǎn)權(quán)的先進儀器設(shè)備!
儀器設(shè)備發(fā)展的是探測手段和傳感器不對被測目標(biāo)產(chǎn)生任何干擾,企業(yè)管理的是一切以市場為核心,不以自我的意愿抗拒市場的趨勢,代替客戶的喜好,于是我們?nèi)∶?ldquo;似空”,希望以忘我的精神服務(wù)客戶。

 

失效分析,芯片開封,表面觀測,金相研磨,光學(xué)及視頻顯微鏡,超聲波檢測,X射線檢測,激光微納加工等

價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池
品牌 AXIS-TEC 型號 AX-LS100
刀片劃片與激光劃片的比較


Figure
Figure 1.pngFigure 2.png
切割過程
機械加工: 使用研磨刀片切割硅片
激光切割: 利用激光加熱裂開晶圓
切割速度
10 ~ 50 mm/s
高達 800 mm/s
切割寬度
60 ~ 80 μm
35 ~ 50 μm
切割質(zhì)量
較低 (易碎裂,裂紋)
(缺口小,裂紋少)
生產(chǎn)效率較慢較快
維護成本
高 (刀片更換)
(長壽命激光源)
主要特點
既定程序
更高的產(chǎn)量,無需清洗





功能概述

1. 激光系統(tǒng)
2. 晶圓自動定位系統(tǒng)
3. 高精度平移臺
4. 簡易的用戶操作界面
5. 一級激光器外殼



1. 激光系統(tǒng)


2. 晶圓自動定位系統(tǒng)


3. 高精度平移臺


4. 簡易的用戶操作界面


5. 一級激光器外殼




可選功能


1. 自動裝片機器人和對準(zhǔn)器

2. 防震氣墊系統(tǒng)

3. 激光高度補償

4. 惰性氣體凈化系統(tǒng)

5. SECS/GEM 功能


1. 自動裝片機器人和對準(zhǔn)器

高速、高精度的晶圓處理,實現(xiàn)更高的生產(chǎn)力。能夠處理高達12英寸的晶圓。


2. 防震氣墊系統(tǒng)

高效的隔振系統(tǒng),可抑制材料受到?jīng)_擊、振動和結(jié)構(gòu)噪音的影響。


3. 激光高度補償


激光高度補償允許設(shè)備處理不同厚度的晶圓。
高度差在晶圓加載過程中被捕獲,然后在激光劃線過程中自動補償。


4. 惰性氣體凈化系統(tǒng)
氮氣等惰性氣體用作劃線過程的輔助氣體;通過激光頭將熔融材料和碎屑推出切割區(qū)。
氮氣是最常yong惰性氣體,因為它的化學(xué)活性較低,與氬氣等其他惰性氣體相比,它更便宜。
與常規(guī)CDA吹掃相比,氮氣劃片產(chǎn)生的切邊質(zhì)量更高。


5. SECS/GEM


對于過程優(yōu)化,SECS/GEM提供了機器和制造系統(tǒng)之間的通用通信接口
它允許輕松訪問數(shù)據(jù),如不同產(chǎn)品的配方選擇、狀態(tài)數(shù)據(jù)收集、跟蹤數(shù)據(jù)收集、報警管理,以及機器控制,如假脫機、遠程命令。






設(shè)備尺寸


: 1530mm
: 900mm
: 2229mm
重量 : 750kg
通用參數(shù)
激光器參數(shù)
工藝規(guī)范






 



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