一、產(chǎn)品概述：

聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）是一種高精度的材料加工和分析工具，利用聚焦的離子束對(duì)樣品進(jìn)行雕刻、切割和表征。FIB技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)微小結(jié)構(gòu)的精確操作和分析。

二、設(shè)備用途/原理：

·設(shè)備用途

FIB系統(tǒng)主要用于納米級(jí)材料的加工與表征，包括樣品的切割、沉積、刻蝕以及缺陷分析。它在半導(dǎo)體行業(yè)中用于制造和修復(fù)微電子器件，也可用于材料的微觀結(jié)構(gòu)分析和三維成像，幫助研究人員深入理解材料的特性和行為。

·工作原理

FIB的工作原理是通過(guò)加速的離子束（通常是銦離子）轟擊樣品表面，導(dǎo)致材料的原子被擊出或沉積。離子束的聚焦能力使其能夠精確控制加工區(qū)域的大小和深度。通過(guò)調(diào)節(jié)離子束的能量和曝光時(shí)間，研究人員可以實(shí)現(xiàn)高精度的材料去除或添加。同時(shí)，F(xiàn)IB系統(tǒng)通常配備有掃描電子顯微鏡（SEM），可以在加工過(guò)程中實(shí)時(shí)觀察樣品，提供高分辨率的圖像和分析數(shù)據(jù)。此結(jié)合使得FIB成為一項(xiàng)強(qiáng)大的材料研究和加工工具。