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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










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產(chǎn)地類別 國產(chǎn)

1. 產(chǎn)品概述:

智程中央供藥系統(tǒng)是用于廠內(nèi)供藥的設(shè)備,能夠按照設(shè)定的配比,將特定的藥液通過相應(yīng)的管路供應(yīng)到制程中。它可以精確地控制藥液的輸送和配比,確保生產(chǎn)過程中使用的藥液符合工藝要求。

2. 設(shè)備應(yīng)用

· 半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,為各種清洗、蝕刻、沉積等工藝提供精確配比的化學(xué)藥液,如酸性(H?SO?、HCl、HNO?、H?PO?、HF、BOE 等)、堿性(NH?OH、NaOH、KOH 等)、有機(jī)(IPA、ACE、去膠、去蠟等)以及拋光液(金剛石拋光液、化學(xué)拋光液等。

· LED 光電行業(yè):為 LED 芯片的制作過程提供所需的化學(xué)藥液供應(yīng),助力提升 LED 產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

· 電子行業(yè):在電路板制造等電子制造環(huán)節(jié)中,提供精確的化學(xué)藥液供應(yīng),保障生產(chǎn)工藝的順利進(jìn)行。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

· 供藥配比精確:能夠嚴(yán)格按照設(shè)定的比例進(jìn)行藥液調(diào)配,確保藥液濃度的準(zhǔn)確性,從而保證生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

· 配方可編輯:配方可以根據(jù)客戶的具體需求進(jìn)行編輯和確認(rèn),具有較高的靈活性,能滿足不同生產(chǎn)工藝對(duì)藥液配方的多樣化要求。

· 容量定制化:容量大小可根據(jù)客戶的實(shí)際需求進(jìn)行定制,適應(yīng)不同規(guī)模的生產(chǎn)場(chǎng)景,避免資源浪費(fèi)或供應(yīng)不足的情況。

· 自動(dòng)化程度高:實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)供藥過程,減少了人工操作帶來的誤差和不確定性,提高了生產(chǎn)效率和供藥的及時(shí)性。

· 系統(tǒng)穩(wěn)定性強(qiáng):經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和優(yōu)化,具備良好的穩(wěn)定性和可靠性,能夠在長時(shí)間的生產(chǎn)過程中穩(wěn)定運(yùn)行,降低設(shè)備故障對(duì)生產(chǎn)的影響。

4. 產(chǎn)品參數(shù)

· 供藥種類:涵蓋各種適用藥液,如不同類型的酸、堿、有機(jī)溶液和拋光液等。

· 配比精度:例如可精確到小數(shù)點(diǎn)后幾位的配比精度。

· 最大供藥流量:反映系統(tǒng)在單位時(shí)間內(nèi)能夠供應(yīng)的藥液最大量。

· 儲(chǔ)液罐容量:根據(jù)定制需求,儲(chǔ)液罐的容量有不同規(guī)格。

· 控制方式:如采用優(yōu)良的自動(dòng)化控制系統(tǒng),具備精確的參數(shù)設(shè)置和監(jiān)控功能。

· 管路材質(zhì):使用適合輸送化學(xué)藥液的特殊材質(zhì)管路,確保藥液的穩(wěn)定性和安全性,同時(shí)具備良好的耐腐蝕性。

· 實(shí)際參數(shù)可能會(huì)因設(shè)備的具體配置和定制需求而有所不同。

                                                           









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