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Zeta-20 三維光學(xué)輪廓儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司深耕科學(xué)儀器與精密測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域,作為專業(yè)服務(wù)商,我們整合了多種優(yōu)質(zhì)技術(shù)資源,為科研創(chuàng)新、工業(yè)制造及質(zhì)量管控領(lǐng)域提供高價(jià)值解決方案。作為國(guó)內(nèi)外多個(gè)品牌的合作伙伴,公司構(gòu)建了涵蓋電化學(xué)分析、膜厚與表面輪廓檢測(cè)、電學(xué)測(cè)量、力學(xué)測(cè)量等領(lǐng)域的多元化產(chǎn)品體系,致力于以精準(zhǔn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)行業(yè)升級(jí)。

在電化學(xué)領(lǐng)域,我們提供從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的先進(jìn)設(shè)備,覆蓋電池性能評(píng)估、電催化研究、腐蝕監(jiān)測(cè)等場(chǎng)景;膜厚及表面輪廓測(cè)試產(chǎn)品線以納米級(jí)精度賦能半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、新能源材料等行業(yè)的工藝優(yōu)化;電學(xué)儀表系列聚焦電子元器件檢測(cè)及實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)化需求,確保測(cè)量精度與效率雙提升;力學(xué)測(cè)量解決方案則專注于材料強(qiáng)度測(cè)試,為金屬、陶瓷、復(fù)合材料及柔性電子等領(lǐng)域提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。

依托成熟的服務(wù)體系、我們幫助客戶實(shí)現(xiàn)技術(shù)工具與業(yè)務(wù)場(chǎng)景的深度融合。未來(lái),公司將持續(xù)拓展技術(shù)邊界,以創(chuàng)新為引擎,推動(dòng)檢測(cè)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的協(xié)同共進(jìn),助力客戶在全球競(jìng)爭(zhēng)中贏得先機(jī)。




臺(tái)階儀,光學(xué)輪廓儀,電化學(xué)工作站,納米壓痕儀,力電聯(lián)測(cè)材料試驗(yàn)機(jī),介電溫譜測(cè)量系統(tǒng),電阻測(cè)試儀,原子力顯微鏡,光學(xué)顯微鏡

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價(jià)格區(qū)間 50萬(wàn)-100萬(wàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
ZSI模式分辨率: 0.5? 最小臺(tái)階: 0.1nm

多模組三維光學(xué)輪廓儀Zeta-20標(biāo)配ZDot技術(shù),可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。強(qiáng)大的成像測(cè)量功能,使其能夠?qū)Ω鞣N樣品進(jìn)行測(cè)量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理等。

1.納米及微米級(jí)臺(tái)階測(cè)量

2.粗糙度分析

3.薄膜厚度測(cè)量

4.三維輪廓測(cè)量

5.全表面缺陷測(cè)量及分類

6.特征圖形全自動(dòng)偵測(cè)與表征

7.高深寬比表面輪廓成像

True color(真彩)無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像

三維光學(xué)輪廓儀

多模組三維光學(xué)輪廓儀模式選擇                                

適用范圍

ZDOT

ZI

ZIC

ZSI

ZFT

粗糙度>40nm


           

           

           

           

粗糙度<40nm


           

           


           

           

大視場(chǎng)、Z軸高分辨


           


           

           

           

15nm~25mm臺(tái)階


           

           

           

           

5nm~100μm臺(tái)階


           


           

           

           

<10nm臺(tái)階


           

           

           


           

30nm<膜厚<75μm


           

           

           

           

膜厚>75μm


           

           

           

           


基礎(chǔ)模塊

橫向準(zhǔn)確度<1%

彩色CCD:2/3”,2448×2048

水平分辨率:54nm

可測(cè)高度:40mm

Z軸分辨率:13nm/2nm

光源:高亮度LED

自動(dòng)XY載臺(tái)150×150mm

樣品反射率:0.5%~100


測(cè)試系統(tǒng)選項(xiàng)

1.標(biāo)準(zhǔn)物鏡:2.5×,5×,10×,20×,50×,100×,150×

2.特殊物鏡:長(zhǎng)工作距離,浸沒物鏡,TTM物鏡

3.ZI、ZIC、ZFT、ZSI(0.5Å分辨率,0.1nm臺(tái)階高度測(cè)試)


載臺(tái)與卡盤選項(xiàng)

1.手動(dòng)100mm×100mm或300mm×300mm載臺(tái)  

2.自動(dòng)150mm×150mm或180mmx200mm載臺(tái)

3.壓電陶瓷載臺(tái)(2nm閉環(huán)精度,200µm工作距離)

4.高精度傾斜載臺(tái)

5.手動(dòng)旋轉(zhuǎn)載臺(tái)

6.卡盤:2"-6"、65mm-95mm、背光卡盤等,可定制

 



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