MA200 Gen3 掩模對準光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品標簽

半導(dǎo)體光刻有掩膜

在線交流發(fā)送詢價進入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

MA200 3代提供適應(yīng)眾多生產(chǎn)過程的智能化解決方案。多樣化的對準方案、靈活可調(diào)的鏡頭系統(tǒng)和特殊附加選項使本系統(tǒng)成為處理各種不同工藝的全能設(shè)備。

高度自動化且切實節(jié)省寶貴的處理時間。這也體現(xiàn)在細節(jié)方面，例如選擇自動更換濾光片，以便維持低運營成本。

MA200 3 代在設(shè)計方面著重凸出用戶友好性。如可調(diào)節(jié)高度的顯示器、符合人體工程學的I / O接口、連續(xù)運行期間更換晶圓盒和直接觀看曝光模塊等特性大大簡化了設(shè)備操作，即使是在高負荷工作時。

憑借其廣泛的附加選項，第 3 代 MA200 很容易就能達到特種光刻工藝的要求。