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PT500 等離子清洗機

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等離子清洗

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品特點

設(shè)備小巧:PT500真空等離子清洗機設(shè)計緊湊,適合在實驗室環(huán)境中使用,便于操作和存放。

真空腔容量大:雖然設(shè)備小巧,但其真空腔容量足夠大,可以滿足小批量樣品的處理需求。

無高溫清洗:清洗過程不會產(chǎn)生高溫,避免了產(chǎn)品因熱變形而導致的質(zhì)量問題。

廣泛適用性:可以處理各種各樣的材質(zhì),如金屬、半導體、氧化物或高分子材料等,應(yīng)用廣泛。

一鍵式操控:設(shè)備操作簡便,一鍵式操控,提高了工作效率。

無環(huán)境污染:清洗過程中無化學品消耗,機臺本身不產(chǎn)生污染物,符合環(huán)保要求。

2.技術(shù)參數(shù)

參數(shù)名稱參數(shù)值

腔體材質(zhì)鋁合金

供電電源AC220V

射頻電源功率0-500W可調(diào)

射頻頻率25KHz

真空度≤100Pa

氣體路數(shù)單路

氣體流量0.1-1l/min(可調(diào))

清洗時間0—999連續(xù)可調(diào)

內(nèi)腔尺寸147mm*145mm(可定制更大尺寸)

外形尺寸452mm380mm225mm(注意:不同來源信息中高度可能略有差異)

重量≈18KG

包裝方式紙箱包裝

3.應(yīng)用域

PT500真空等離子清洗機廣泛應(yīng)用于微電子、半導體、光電、航空航天等行業(yè)的制造和實驗研究等域。它是目表面處理工藝的重要設(shè)備之一,能夠有效地去除樣品表面的污染物和氧化物,提高樣品的表面質(zhì)量和性能。


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