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SC24 單晶爐

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

借助用于直徑測量的攝像系統(tǒng)和用于溫度測量的兩個高溫計,通過 PLC(可編程邏輯控制器)和 PC 的控制實現(xiàn)自動拉晶工藝。用于工藝控制和監(jiān)控的圖文控制界面操作簡單友好,并針對大規(guī)模生產(chǎn)進行了優(yōu)化。

產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽 :

最大晶棒直徑: 最長230 毫米

晶棒長度: 最長2,900 毫米

裝料容量: 160公斤-220公斤

熱場: 24英寸

該晶體生長系統(tǒng)作為半導體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點:

精確性:通過精密儀器制造的驅(qū)動單元夠?qū)崿F(xiàn)可重復的工藝控制并生產(chǎn)出最佳品質(zhì)的晶體。

堅固性:爐體部件由高質(zhì)量的不銹鋼制成,其內(nèi)表面經(jīng)過高精度拋光,以便達到耐用性和潔凈等級方面的最高要求。

安全性:高度的自動化和額為增設(shè)的安全系統(tǒng)可以確保在先進的生產(chǎn)環(huán)境中使用。

定制化:憑借多年的開發(fā)經(jīng)驗、專業(yè)知識以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長系統(tǒng)根據(jù)不同客戶的特定需求提供最佳解決方案。

支持與服務(wù):您可以通過直接聯(lián)系PVA晶體生長系統(tǒng)專家進行點對點"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務(wù)以及系統(tǒng)的調(diào)整和優(yōu)化服務(wù)。

偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領(lǐng)域中最重要的晶體生長工藝,該工藝是實現(xiàn)工業(yè)、科學和社會的快速數(shù)字化轉(zhuǎn)型的基礎(chǔ)。柴可拉斯基法(直拉法)以揚·柴可拉斯基的名字來命名,該技術(shù)為工業(yè)化生產(chǎn)而開發(fā),目前用于生產(chǎn)直徑達300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當溫度達到大約1410℃時,高純硅作為半導體材料會在石英坩堝中熔化,并通過控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。







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