全自動超臨界干燥儀SCD-380A 8英寸原理：

超臨界流體具有類似氣體的擴(kuò)散性及液體的溶解能力，同時兼具低黏度，低表面張力的特性，使得超臨界流體能夠迅速滲透進(jìn)入微孔隙之中。因此用于萃取/干燥時速率比液體快速而有效，尤其是溶解能力可隨溫度，壓力和極性而變化。

傳統(tǒng)干燥方法，液體在高溫條件下直接轉(zhuǎn)化成氣體，這樣會產(chǎn)生一定量的表面張力變化，將有可能破壞樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu)，對于特殊的樣品，比如，溶膠凝膠、生物樣品、結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定的多孔材料等，使用傳統(tǒng)干燥方法預(yù)處理樣品將導(dǎo)致樣品結(jié)構(gòu)被損壞。而使用臨界點(diǎn)干燥法中，介質(zhì)采用液態(tài)二氧化碳---超臨界二氧化碳---氣體二氧化碳這種相變方法，將分界面的表面應(yīng)力將為零，則可以保存樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu)。

全自動超臨界干燥儀SCD-380A 8英寸技術(shù)參數(shù)：

1、316不銹鋼材質(zhì)耐高壓管路和閥門，安全有保障，在潔凈室內(nèi)完成組裝和打包；

2、新款全自動設(shè)計，觸摸屏操作，儀器無任何外置閥門旋鈕，程序控制實(shí)驗流程無需人工值守操作；

3、內(nèi)置多種材料干燥流程可選，支持自定義個性化處理方案；

4、       智能化程序設(shè)計，實(shí)驗流程圖形化界面，實(shí)時顯示實(shí)驗進(jìn)度和參數(shù)；

*5、電動高壓微調(diào)閥系統(tǒng)控制co2流速，程序控制可以進(jìn)行慢充，快充，慢排，快排，流速設(shè)置分辨率為最大流速的1%，精確可靠，無任何外置手動微調(diào)閥門；

6、溫度控制范圍：0℃至60℃，精度：±1℃。內(nèi)置高效制冷系統(tǒng)和電加熱均為程序自動控制；

7、帶視窗和照明的高壓樣品池，尺寸：直徑220mm*高度35mm，帶有頂部進(jìn)氣和底部排空的垂直樣品腔，利于介質(zhì)排出和樣品放置；

8、儀器正常工作壓力為0-8MPa，出廠檢測系統(tǒng)耐壓15MPa（2150psi），保證安全可靠；

9、儀器具有超壓自動泄壓系統(tǒng)，確保壓力可控；

10、完備的過濾系統(tǒng)，外置和內(nèi)置0.5μm過濾器保護(hù)樣品與微調(diào)閥門；

11、配置有適用于2,4,6,8英寸的樣品支架和對應(yīng)填充環(huán)，材質(zhì)為聚四氟乙烯；

12、堅固防腐蝕的箱體，尺寸：長寬高70*55*130cm，帶有壓力、溫度和流量顯示，方便客戶掌握儀器運(yùn)行狀態(tài)。

標(biāo)配附件：

柔性高壓LCO2管線，1.5米，連接鋼瓶和儀器；

外置過濾器（過濾精度：0.5um），配套高壓軟管；

可放置5片8寸晶圓配置相應(yīng)的樣品架，

可兼容6寸、4寸、2寸、10mm*10mm方片晶圓的干燥處理（配置相應(yīng)的填充塊），

防靜電排空管線2根，各1.5米；

備用樣品室密封環(huán)（10）；

專用樣品支架二套；

樣品池填充環(huán)一個；

安裝工具一套；

用戶說明書及使用指南；

兩年質(zhì)保及終生免費(fèi)技術(shù)支持。

廢液收集桶一個；

高純二氧化碳鋼瓶一瓶，純度≥99.9%。