石英舟清洗機是一種專門用于清洗半導體制造過程中使用的石英舟和石英管的設備。以下是對石英舟清洗機的詳細介紹：

設備構成

機械手：帶動花籃進行水平和升降運動，使石英舟在超純水工藝槽和化學工藝槽內進行振動清洗。

管路系統(tǒng)：對廢液進行分類排放及回收，減少廢液處理過程中的浪費，節(jié)省回收成本。

自動補液功能：通過液位傳感器控制，確保清洗液的穩(wěn)定供應。

技術特點

藥液循環(huán)過濾：保持清洗液的清潔度，提高清洗效果。

爐管滾動：使石英舟在清洗過程中均勻受力，避免局部殘留。

獨取樣口：方便對清洗效果進行實時監(jiān)控。

安全措施：排酸權限分級、排酸彈窗確認、門鎖Interlock、EMO等，確保設備操作的安全性。

應用領域

主要用于半導體制造過程中的石英舟和石英管的清洗，如8寸/12寸等多種尺寸的石英舟/石英管。