美國Logosol晶圓預對準器 

美國Logosol LPA12FS-3預對準器

Logosol的經(jīng)過時間考驗的技術(shù)和高可靠性標準是行業(yè)中廣泛的預對準器系列的基礎(chǔ)。預對準器產(chǎn)品系列支持處理從45毫米到480毫米的對象，具有任何透明度水平，從不透明到透明。Logosol的一體化設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

美國Logosol晶圓預對準器 

美國Logosol邊緣處理

創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零夾持力的被動邊緣接觸技術(shù)，是Logosol邊緣夾持預對準器技術(shù)的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對象時，晶圓不受應力影響，保持最大的清潔度。提供標準和高精度型號。

型號：LPA6EH-3,LPA8EH-3,LPA68EH-3,LPA8ET-3,LPA12ET-3,LPA812EH-3

美國Logosol獨立式

自主設(shè)備，用于對45毫米至480毫米的對象進行高精度對準，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對象而無需機械重新定位、夾具負載和銷負載模式以及高精度選項。

型號：LPA26-3,LPA38-3,LPA58-3,LPA312-3,LPA812-3,LPA1218-3

美國Logosol嵌入式

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對象的對準能力，并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。

型號：LPA25-1E ,LPA38-1E,LPA58-1E ,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E