KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)采用專有的光學技術(shù)，可同時測量兩個入射角的散射強度。它可以捕捉到形貌變化、表面反射率、相位變化和光致發(fā)光，從而對各種關(guān)鍵缺陷進行自動檢測與分類。應用包括射頻、功率和高亮度LED的氮化鎵檢測，能夠檢測裂紋、晶體位錯、小丘、微坑、滑移線、凸點和六角凸點以及外延缺陷。KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)還可用于其他化合物半導體工藝材料的缺陷檢測，例如用于LED、垂直腔面發(fā)射激光器和光子學應用的砷化鎵和磷化銦。

功能

• 對直徑達200毫米的化合物半導體材料進行缺陷檢測。

• 支持各種晶圓厚度

• 適用于宏觀和微觀缺陷，如裂紋、多量子阱擾動、微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污缺陷

應用案例

• 襯底質(zhì)量控制

• 襯底供應商對比

• 入廠晶圓質(zhì)量控制(IQC)

• 出廠晶圓質(zhì)量控制(OQC)

• CMP（化學機械拋光工藝）/拋光工藝控制

• 晶圓清洗工藝控制

• 外延工藝控制

• 襯底與外延缺陷關(guān)聯(lián)

• 外延反應器供應商的對比

• 工藝機臺監(jiān)控

行業(yè)

• 高亮度LED、微型LED包括AR|VR

• 氮化鎵的射頻和氮化鎵的功率應用

• 通信（5G、激光雷達、傳感器）

• 其他化合物半導體器件

選項

• SECS-GEM

• 信號燈塔

• 金剛石劃線

• 校準標準

• 離線軟件

• 光學字符識別(OCR)

• 光致發(fā)光