特點

驚人的測量速度

通過采用新的智能算法以及新型相機，達到驚人的測量速度。數(shù)據(jù)采集速度達180 fps。標準測量采集速度比以前快5倍。S neox成為市場上速度極快的表面測量系統(tǒng)。

易于使用

Sensofar致力于為客戶提供最令人難以置信的體驗。隨著第五代S neox系統(tǒng)的誕生，我們的目標是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學(xué)者，只需點擊一下，即可操作測量。模塊化設(shè)計的軟件，使系統(tǒng)適應(yīng)用戶多樣的需求。

功能靈活多樣

質(zhì)量管理

豐富的自動化模塊，方便進行質(zhì)量管控。從操作員訪問權(quán)限控制、測量程序存儲、兼容性到條形碼/QR讀取器，以及我們專用SensoPRO軟件中的定制插件，都可以自動生成分析報告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在QC環(huán)境中工作，其具有靈活性和易于使用的界面，可編程并24小時工作。

研發(fā)

Ssnsofar的三合一方法只需點擊一次，系統(tǒng)即可切換到適合當前測量任務(wù)的掃描方式。在S neox傳感器頭中配置三種測量技術(shù)：共聚焦、干涉、Ai多焦面疊加，這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻，并有助于非常有效地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點。S neox是所有實驗室環(huán)境的理想之選，適用范圍廣泛。

四合一技術(shù)

1）共聚焦模式

共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌，它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達0.10um.利用它可以實現(xiàn)臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°（粗糙表面達86°）。

共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

2）相位差/白光干涉模式

相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量。

白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級的縱向分辨率。

3)多焦面疊加模式

多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)我們在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗，特別設(shè)計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的最大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(最大86°)。此功能對工件和模具測量特別有用。

4)薄膜

薄膜測量技術(shù)快速、準確、無損地測量光學(xué)透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，準確地找到匹配的厚度?？梢栽诓坏揭幻腌姷臅r間內(nèi)測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，范圍從0.5μm到40μm。

LED光源的優(yōu)勢

用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢，首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象。其次LED光源的使用壽命約50000小時（約25倍于激光）。最重要的是多個LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇適合的波長來測量。選用：630nm紅光、530nm綠光、460nm藍光、 575nm白光。

可追溯的精確測量

每一臺SNEOX都是為了實現(xiàn)精確且可追溯地測量。我們的設(shè)備使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600標準的可追溯標準塊進行校正。所有的指標，包括高度及水平精度、平面度偏差、系統(tǒng)分辨率等都以測量此類標準塊而得到。我們堅持所有的測量設(shè)備按照此標準執(zhí)行。

S neox出廠前都采用已計量、可追溯的標準塊做校正，并且確認符合標準才會出廠。同時SENSOFAR會隨設(shè)備附上測量精度和重復(fù)性的檢測報告。

高分辨率

垂直分辨率受到儀器噪聲的限制，儀器噪聲對于干涉測量是固定的，但共聚焦測量依賴的數(shù)值孔徑。Sensofar專有算法以光學(xué)儀器更佳的橫向分辨率為測量技術(shù)提供納米級系統(tǒng)噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3nm) 原子層，由PTB提供。

DIC觀察

微分干涉 (DIC) 用于強調(diào)在正常觀察中沒有對比度的非常小的高度特征。通過使用 Nomarski棱鏡，產(chǎn)生了干涉圖像，解決了在明視場或共聚焦圖像中不可見的亞納米級結(jié)構(gòu)。

設(shè)計

多樣的配置方案-平臺尺寸（從4寸到12寸）

超大尺寸支架

軟件-引導(dǎo)式系統(tǒng)

SensoSCAN軟件通過清晰、直觀且用戶友好的界面驅(qū)動系統(tǒng)。用戶將被引導(dǎo)瀏覽3D環(huán)境，獲得良好的用戶體驗。

自動化程序模塊

自動測量模塊讓客戶更容易地實現(xiàn)自定義編程，完成質(zhì)量管理和檢測的目標。手動設(shè)定測量點坐標或?qū)胱鴺宋募瑸槊總€坐標或批量設(shè)定量測程序，再設(shè)定自動影像識別對位點，最后定義公差范圍及報告輸出格式就完成了所有的編程工作。

多點編程測量

SNEOX設(shè)計了一個全新的編程方式。即通過自動識別相同的結(jié)構(gòu)或產(chǎn)品類型，程序會在相同的位置復(fù)制測量點位和程序。這將極大地提高編程的效率，節(jié)省了人員編程的時間。

自動識別對位點

通過影像自動識別對位點并自動進行位置補正，從而實現(xiàn)了無人干預(yù)的全自動化測量。使原來手動抽檢的臺式機變身為只要手動放完片就可以自動測量完并給出報告的半自動檢測設(shè)備。自動對位點識別的功能也是離線抽檢設(shè)備走向工業(yè)4.0的能力。

擴展測量模塊-最高可達500Mpx

SensoSCAN 的擴展測量模塊讓用戶可以通過概覽圖像輕松地在表面上定義測量布局。測量區(qū)域可被自動裁剪為需要的矩形、圓形或環(huán)形區(qū)域。適用于高達 5 億像素的大面積測量。提供多種掃描策略，例如對每個視場進行自動聚焦，或聚焦跟蹤，以便最小化垂直掃描范圍。

SensoVIEW強大的分析軟件

3D和2D交互式視圖提供多種比例、顯示和渲染選項。提供工具套裝，適用于對3D或2D測量進行初步檢查和分析。測量臨界尺寸、角度、距離、直徑，以及使用新的注釋工具突出顯示特點。

易于使用、簡潔卻強大、專為您設(shè)計

Sensofar系統(tǒng)配備的這一款動態(tài)軟件提供一整套用戶友好的工具，用于顯示并分析測量值。用戶將得到培訓(xùn)和指導(dǎo)，熟悉3D環(huán)境，獲得良好的用戶體驗：只需單擊一次就可調(diào)用運算符、設(shè)計風(fēng)格引人注目的圖標、更容易理解的功能、同步的 3D、2D和剖面視圖，這些都只是SensoVIEW軟件主要特征的一部分。

1）選擇您自己的視圖：3D和2D交互式視圖提供多種比例、顯示和渲染選項。

2）處理您的數(shù)據(jù)：處理數(shù)據(jù)信息或生成備選層的全套運算符。

3）與分析工具交互：對3D或2D測量值進行初步檢查和分析需要的多種分析工具。

4）您的分析應(yīng)用：創(chuàng)建分析模板將一系列測量結(jié)果，使用相同的預(yù)設(shè)流程進行分析。

5）獲取您的結(jié)果：獲取可定制報告，或者以多種格式導(dǎo)出3D測量數(shù)據(jù)。

ISO參數(shù)-關(guān)鍵參數(shù)的智能計算工具

SensoVIEW分析軟件提供了一個具體的步驟指南，根據(jù)ISO 21920和25178獲得粗糙度參數(shù)的表面紋理參數(shù)，根據(jù)ISO 12781獲得平整度參數(shù)的表面紋理參數(shù)。這是滿足粗糙度和波紋度ISO標準的方法，簡化了分析過程。

ISO 21920計算

它根據(jù)ISO 21920自動濾除主波形，并會得到粗糙度(Rx)和波紋度(Wx)參數(shù)。參數(shù)的計算包括一組預(yù)定義的運算符、濾波器（F-運算符、S-濾波器和L-濾波器）以及其他設(shè)置 。

ISO 25178計算

專為不太了解ISO濾波器的用戶設(shè)計，現(xiàn)在，他們只需選擇要分析的表面類型，就可提取出這些信息。該運算符根據(jù)ISO25178標準過濾表面，并得到表面紋理參數(shù)。

ISO 1278計算

SensoVIEW可以根據(jù)ISO 12781輕松提取四個平整度參數(shù)：峰谷比（FLTt）、峰參考比（FLTp）、參考谷比（FLPv）和均方根（FLTq）。

ISO標準-表面紋理表征

ISO 25178：幾何產(chǎn)品規(guī)范 (GPS)–表面紋理：面層標準是國際標準化組織面向3D面層表面紋理的分析，收集整理的相關(guān)國際標準。這是涉及3D表面紋理規(guī)范和測量的國際標準，特別是定義了3D表面紋理參數(shù)及相關(guān)規(guī)范運算符。

按照 ISO 25178 計算表面參數(shù)：

高度參數(shù)（Z 軸方向的高度值）
空間參數(shù)（數(shù)據(jù)的空間周期性）
混合參數(shù)：（數(shù)據(jù)的空間形狀）
功能參數(shù)（從材料比值曲線、表面形貌、谷底與坡面計算出的參數(shù)）
功能體積參數(shù)（根據(jù)材料比率曲線計算體積）

測量顯示-更銳利的可視化形貌

圖像控制選項一直在不斷發(fā)展，更好的滿足所有樣本類型及客戶需求，多種圖像處理設(shè)置包含在每個渲染可視化選項中，同時提供縮放選項，調(diào)節(jié)更方便。

自動管理的渲染視圖

五種智能可視化模式（錯誤顏色、堆疊、堆疊 & 錯誤顏色、正確顏色或方向亮度）始終可

以在主屏幕上隨心選擇。

自動流設(shè)置

用戶能自由控制不同參數(shù)，比如縮放范圍、Z 軸、堆疊、顏色和陰影設(shè)置。

波形工具

對于顯示圖像和3D測量值，有幾個波形選項可供選用：水平、垂直、圓形、頂部/底部、

自由或平均波形?？捎酶鞣N關(guān)鍵尺寸工具分析波形數(shù)據(jù)。

結(jié)果-可自定義的報告

由于可從不同報告模板中選擇，用戶可配置每個部分，盡可能滿足他們的要求。對于每次測量，獲得清楚、結(jié)構(gòu)合理的報告的靈活方式，除了其他內(nèi)容，還可顯示采集信息、3D數(shù)據(jù)、2D 輪廓和所有ISO參數(shù)。

1）創(chuàng)建自己的頁眉和頁腳

2）將內(nèi)容設(shè)置為您所需

3）選擇樣式以顯示您的結(jié)果

4）Excel & PDF格式，可隨意編輯

可導(dǎo)出多種格式的 3D圖像

有幾個選項可用于管理輸出文件。在SensoVIEW分析軟件中保存測量時，原始數(shù)據(jù)始終被保留。測量表面數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出為*.dat、*.stl、*.pcl和*.x3p格式。

具有統(tǒng)計計算的可導(dǎo)出結(jié)果

應(yīng)用模板后，用戶可以導(dǎo)出包含了所有關(guān)鍵尺寸，并按尺寸類型或編號分類好的統(tǒng)計信息的Excel文件。

SensoPRO快速質(zhì)量控制

在生產(chǎn)線上執(zhí)行快速質(zhì)量控制從未顯得如此簡單。得益于SensoPRO，生產(chǎn)線操作員只需要加載樣品并按照引導(dǎo)式說明操作即可。基于插件的數(shù)據(jù)分析算法提供了高度的靈活性。全新模塊可供輕松定制，以適應(yīng)其他行業(yè)的需求。

市場-為每種應(yīng)用量身打造的解決方案

對于那些在我們的其他可用套餐中找不到他們需要的功能的客戶，我們的開發(fā)團隊可提供定制解決方案。我們憑借工程師的專業(yè)知識，尋求適合所需應(yīng)用的解決方案。

消費類電子產(chǎn)品

消費類電子產(chǎn)品市場包括半導(dǎo)體、印刷電路板 (PCB) 和顯示器行業(yè)等。鑒于其速度和自動化能力，SensoPRO已成為了許多應(yīng)用領(lǐng)域的真正省錢利器。

醫(yī)療設(shè)備

醫(yī)療市場有著極其嚴格的質(zhì)量控制和質(zhì)量保證標準。Sensofar的3D光學(xué)輪廓儀可對制造過程進行快速、無損且準確的控制，并可對表面紋理進行質(zhì)量控制。

工裝

刀具的設(shè)計和制造直接影響最終用戶行業(yè)的生產(chǎn)質(zhì)量。SensoPRO在分析螺紋牙底、牙面和牙頂?shù)某叽鐪y量值或計算刀片和其他切削工具的刀刃半徑時非?？焖?。

自動化-工作原理

這套64位數(shù)據(jù)分析解決方案為QA工程師和技術(shù)員快速、簡便地分析生產(chǎn)參數(shù)提供了環(huán)境。SensoPRO可鏈接至采集軟件 (SensoSCAN)，從而測得的數(shù)據(jù)可自動傳輸?shù)絊ensoPRO進行分析。一旦配置完畢，單擊一次就可采集和分析測量數(shù)據(jù)。

性能-QC 經(jīng)理的管理工具

光學(xué)輪廓儀的變革性創(chuàng)新，極大地改善了其可用性，簡化了創(chuàng)建參數(shù)記錄文檔時以及通過比較兩組數(shù)據(jù)確定哪些是控制生產(chǎn)線的關(guān)鍵參數(shù)時設(shè)置公差的任務(wù)。專為需要可追溯生產(chǎn)控制的非專業(yè)用戶設(shè)計。

性能-極其快速

由于現(xiàn)在可以利用多個內(nèi)核，大量的操作可同時執(zhí)行，從而提高了系統(tǒng)總體性能。輕松處理更大的文件和/或更大的多個數(shù)據(jù)集。

性能-有命令行可用

此工具使SensoPRO的批量分析工作可以獨立運行，實現(xiàn)了用Sensofar系統(tǒng)批量采集的同時集中分析。將此解決方案與SensoSCAN SDK相結(jié)合，我們可以一邊進行測量，一邊進行分析（在單獨的計算機上），加快QC過程。命令行是從其他軟件調(diào)用SensoPRO分析軟件的一種簡便方式。

結(jié)果-參數(shù)統(tǒng)計分析模塊

一旦分析完成，每個參數(shù)的結(jié)果和標準偏差就顯示在表上。如果應(yīng)用了任何公差，這些公差將在匯總部分突出顯示。

高級分析軟件

SensoMAP是一款功能強大的分析和報告工具，它是基于Digital Surf的Mountains技術(shù)而開發(fā)。SensoMAP軟件已模塊化，以適應(yīng)客戶需求。SensoMAP提供兩個級別（標準和進階）和多個模塊（2D、3D或4D模塊、進階輪廓、顆粒和粒子、統(tǒng)計和拼接）。

易于使用-極其強大的報告創(chuàng)建功能

專為各種各樣的研究和工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計，SensoMAP軟件是表面成像、分析和測量解決方案，可集成在Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀中。包括：

1）成像-用前沿的成像技術(shù)和智能濾波器可視化表面數(shù)據(jù)。

2）測量學(xué)-按照每一項最新標準和方法進行分析研究。

3）報告創(chuàng)建-在智能桌面發(fā)布環(huán)境中創(chuàng)建詳細、精確的多頁表面分析報告，強大的自動化功能加快分析過程。

可選模塊

▄ 包含的模塊                        — 可選模塊

規(guī)格

設(shè)備尺寸（mm/英寸）

 基座和立柱

控制器

技術(shù)

光源

物鏡性能-明場

物鏡性能-干涉

共聚焦/Ai多焦面疊加

1.最大視場系3/2”攝像頭及光學(xué)0.5X。  

2.表面的像素大小。

3.L&S:線條和空間, 藍光波長。

4.根據(jù)比較連續(xù)兩次在垂直于光軸的校準鏡片得到的差異計算系統(tǒng)噪音值。  

5.在光滑表面上，最多71o，在散射表面上高達86o。

XY軸性能

Z軸性能

系統(tǒng)配置

計算機和操作系統(tǒng)