珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司
單顆粒ICP-MS測(cè)定化學(xué)-機(jī)械整平中使用的元素氧化物納米顆粒懸浮物的特性
檢測(cè)樣品：納米元素氧化物納米顆粒
檢測(cè)項(xiàng)目：定量和表征納米元素氧化物納米顆粒
方案概述：本研究概述了定量和表征納米元素氧化物納米顆粒（氧化鋁和氧化鈰），這些常用于納米電子學(xué)和半導(dǎo)體制造行業(yè)中化學(xué)-機(jī)械（CMP）半導(dǎo)體表面的平整。CMP是一個(gè)結(jié)合了化學(xué)和機(jī)械外力平滑平面的過(guò)程，此步驟為光刻作準(zhǔn)備。
本研究概述了定量和表征納米元素氧化物納米顆粒（氧化鋁和氧化鈰），這些常用于納米電子學(xué)和半導(dǎo)體制造行業(yè)中化學(xué)-機(jī)械 (CMP)半導(dǎo)體表面的平整。CMP是一個(gè)結(jié)合了化學(xué)和機(jī)械外力平滑平面的過(guò)程，此步驟為光刻作準(zhǔn)備。
在半導(dǎo)體元器件制造中，CMP過(guò)程使用各種元素氧化物懸浮物和壓力，使化學(xué)和機(jī)械地拋光硅晶片。為降低電子設(shè)備尺寸和改善制造過(guò)程的產(chǎn)量，現(xiàn)在所使用的CMP懸浮物由納米顆粒組成。
CMP懸浮物納米粒子的尺寸分布特征，以及大顆粒的辨別，是光刻過(guò)程的質(zhì)量控制的重要方面，可能會(huì)影響到硅晶片的質(zhì)量。單顆粒模式ICP-MS（SP-ICP-MS）是分析金屬納米粒子的最有前途的技術(shù)之一。由于具有測(cè)量可溶分析物濃度和單個(gè)納米粒子， ICP-MS是一種用于分析半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域中各種分析物的理想儀器。
相關(guān)產(chǎn)品清單
溫馨提示：
1.本網(wǎng)展示的解決方案僅供學(xué)習(xí)、研究之用，版權(quán)歸屬此方案的提供者，未經(jīng)授權(quán)，不得轉(zhuǎn)載、發(fā)行、匯編或網(wǎng)絡(luò)傳播等。
2.如您有上述相關(guān)需求，請(qǐng)務(wù)必先獲得方案提供者的授權(quán)。
3.此解決方案為企業(yè)發(fā)布，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由上傳企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
最新解決方案
- 傳感器高溫高壓老化試驗(yàn)
- Py-Screener系統(tǒng)篩查分析電子電氣產(chǎn)品中7種鄰苯二甲酸酯和20種溴代阻燃劑
- 光刻膠關(guān)鍵物質(zhì)-光酸劑-CAD 檢測(cè)器應(yīng)用簡(jiǎn)報(bào)
- 光刻膠關(guān)鍵物質(zhì)-光酸劑-CAD 檢測(cè)器應(yīng)用簡(jiǎn)報(bào) 三氟丁基磺酸根
- 精密鼓風(fēng)干燥箱在手機(jī)主板缺陷測(cè)試實(shí)踐
- “鄰”危受命，全面應(yīng)對(duì) | 譜育科技針對(duì)RoHS 2.0中鄰苯二甲酸酯檢測(cè)解決方案
- GNR殘余應(yīng)力分析儀EDGE對(duì)激光水平儀的測(cè)試
- MLCC用內(nèi)電極鎳漿的分散解決方案
- LISICO LS-1分散均質(zhì)分析測(cè)試儀在MLCC用鈦酸鋇漿料的應(yīng)用
- 紅外光譜法分析光刻膠的主成分
該企業(yè)的其他方案
- Avio 200 ICP-OES測(cè)定高純石英砂中16種微量元素
- 未知聚合物的熱重分析
- GC/MS：根據(jù)EPA方法525優(yōu)化76種農(nóng)藥的快速分析方法
- 使用NexION 1100G ICP-MS測(cè)定正極材料中的氯化物
- 新污染物五氯酚的測(cè)定 | 氣相色譜法
- 新污染物三氯殺螨醇的測(cè)定 | 液相色譜-三重四極桿質(zhì)譜聯(lián)用法
- 新污染物中二氯甲烷、三氯甲烷、六氯丁二烯的測(cè)定 | 頂空-氣相色譜法
- 使用FL 6500熒光光譜儀和NanoOrange染料進(jìn)行蛋白質(zhì)定量
- 使用NexION 5000 SP-ICP-MS分析半導(dǎo)體級(jí)硫酸中的金屬納米顆粒
- 使用NexION 1100 ICP-MS檢測(cè)和驗(yàn)證藥品中的元素雜質(zhì)
業(yè)界頭條
- 激光設(shè)備改造升級(jí)中標(biāo)結(jié)果公告
-
項(xiàng)目名稱：第6代柔性有源矩陣有機(jī)發(fā)光顯示器件（AMOLED）模組生產(chǎn)線項(xiàng)目，項(xiàng)目編號(hào)：4197-23...
