島津企業(yè)管理（中國）有限公司
類金剛石(DLC)膜及其表面缺陷的島津電子探針分析
檢測樣品：類金剛石(diamond-likecarbon，DLC）膜
檢測項目：缺陷分析
方案概述：使用島津電子探針顯微分析儀EPMA-1720對某類DLC(diamond-likecarbon，類金剛石）膜的表面缺陷進行了觀察、元素測試及元素面分布特征分析。確認了缺陷中元素的種類和含量、元素在缺陷位置的分布特點，討論了表面上尺寸大小不等的微觀點狀缺陷可能會帶來的工程材料失效問題。
類金剛石( diamond-like carbon，DLC）膜是一種非晶碳膜，最早在1971年由離子沉積技術得到。它是一種由sp3鍵的金剛石和sp2鍵組成的碳膜，具有與金剛石相似的優(yōu)良的力學性能，因此被命名為類金剛石膜。DLC膜具有硬度高、摩擦系數低、耐磨性能良好、抗腐蝕性能良好、熱膨脹系數小等優(yōu)異的物理化學性能，具有廣闊應用的前景，在機械設備、海洋工程、汽車零部件、電子和光學元件、生物醫(yī)用設備等多個領域中都有廣泛應用。
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