FT160專為微焦斑和超薄鍍層分析而設(shè)計(jì)，針對(duì)最小部件的測(cè)量?jī)?yōu)化了光學(xué)系統(tǒng)和探測(cè)器技術(shù)。

使用FT160可實(shí)現(xiàn)更多操作：

高強(qiáng)度X射線——儀器的核心是一個(gè)具有30μm光束的新型毛細(xì)管光學(xué)系統(tǒng)，非常適合微小的半導(dǎo)體圖案和超小組件。

高靈敏度的SDD探測(cè)器——這款高性能設(shè)備使計(jì)數(shù)速率翻倍，從而提高生產(chǎn)率。

高清相機(jī)——觀察相機(jī)的分辨率高，其具有16倍數(shù)字變焦功能，更容易觀察半導(dǎo)體和PCB表面并易于導(dǎo)航。

智能控制器軟件——可對(duì)FT160進(jìn)行依照形狀和圖案自動(dòng)查找測(cè)量位置的編程，以提高測(cè)量吞吐量和準(zhǔn)確性。

應(yīng)用