懸臂式三坐標測量機的一些關鍵檢驗要點：
幾何精度檢驗
工作臺面與移動平面平行度：檢驗工作臺面與X、Y移動平面的平行度，確保測量基準的準確性。
移動直線度：檢驗X、Y、Z向移動的直線度，每個坐標軸都有兩個方向的直線度要求。
移動角度變化：檢驗X、Y、Z方向移動的角度變化，每個坐標軸有3個方向的角度變化要求。
移動相互垂直度：檢驗X、Y、Z方向移動的相互垂直度，總共有3個垂直度要求。
測量精度檢驗
示值誤差（MPEE）：沿各坐標軸測得的三坐標測量機位置讀數(shù)與基準長度測量系統(tǒng)讀數(shù)的差值，主要為坐標位置的點位精度。檢驗時，需通過比較不同長度尺寸實物標準器的校準值和指示值，評價坐標測量機是否符合規(guī)定的最大允許示值誤差。通常使用三等量塊作為標準器，在測量空間的多個方向進行測量，重復測量多次以獲取準確數(shù)據(jù)。
探測誤差（MPEP）：通過確定測量點到最小二乘擬合球球心距離的范圍，評價三維探測誤差是否符合規(guī)定的最大允許探測誤差。檢驗時，在標準球上選取多個探測點進行探測，探測點須均布，并計算高斯擬合球以得出探測誤差。
其他性能檢驗
動態(tài)誤差：主要來源于測量部件運動過程中由于加速度造成的變形，特別當測量面是曲面時，測量頭作向心加速度運動將產(chǎn)生動態(tài)誤差。動態(tài)誤差一般不超過靜態(tài)誤差的10%~30%。
重復性：在相同條件下，多次測量同一位置的偏差程度。高重復性意味著測量結(jié)果更加穩(wěn)定可靠。
環(huán)境適應性：檢驗三坐標測量機在不同溫度、濕度等環(huán)境條件下的工作穩(wěn)定性和測量準確性。
檢驗方法與設備
使用標準器：如量塊、標準球等，作為檢驗的基準。
激光干涉儀：可用于校準三坐標測量機的各軸運動精度，測量各軸在運動過程中的實際位移，并與測量機控制系統(tǒng)所顯示的位移進行對比。
遵循操作規(guī)范：嚴格按照測量機的操作手冊和校準規(guī)范進行操作，確保檢驗結(jié)果的準確性和可靠性。
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