光電直讀光譜儀主要由以下四個模塊組成：
激發(fā)系統(tǒng)：負責將固態(tài)樣品原子化，并激發(fā)出各元素的發(fā)射光譜光。常見的激發(fā)源有火花發(fā)生器、電弧發(fā)生器和低壓電容放電發(fā)生器等。
光學系統(tǒng)：對激發(fā)出的復雜光信號進行處理，包括整理、分離、篩選和捕捉。光學系統(tǒng)通常由聚光鏡、光柵、出射狹縫等組成，能夠?qū)⒉煌ㄩL的光譜光分離并引導至檢測器。
測控系統(tǒng)：測量特征譜線的強度，并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號。同時，測控系統(tǒng)還負責控制整個儀器的運作，包括激發(fā)源的觸發(fā)、光學系統(tǒng)的調(diào)整、數(shù)據(jù)的采集和處理等。
計算機軟件數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：對測控系統(tǒng)傳輸來的電信號進行數(shù)據(jù)處理和分析，計算出樣品中各元素的含量，并將結(jié)果以圖表或報告的形式輸出。
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