近日，國家市場監(jiān)督管理總局、國家標(biāo)準化管理委員會正式發(fā)布六項與芯片制造相關(guān)的國家標(biāo)準。上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司作為全國氣體驗證平臺單位，深度參與了標(biāo)準的制定工作，進一步推動我國電子特種氣體質(zhì)量控制體系的規(guī)范化與系統(tǒng)化建設(shè)。

     本次發(fā)布的標(biāo)準包括：

GB/T 14600-2025《電子氣體 一氧化二氮》

GB/T 18867-2025《電子氣體 六氟化硫》

GB/T 26250-2025《電子氣體 砷化氫》

GB/T 14851-2025《電子特氣 磷化氫》

GB/T 14601-2025《電子特氣 氨》

GB/T 45133-2025《氣體分析 混合氣體組成的測定 基于單點和兩點校準的比較法》

       這六項標(biāo)準聚焦于集成電路制造過程中對電子工業(yè)氣體的核心需求，圍繞氣體組分類別、檢測限設(shè)定及分析方法規(guī)范等關(guān)鍵環(huán)節(jié)展開，對提升檢測結(jié)果的重復(fù)性與再現(xiàn)性、推動行業(yè)檢測技術(shù)標(biāo)準化建設(shè)具有重要意義。

 華愛色譜依托在高純氣體痕量分析領(lǐng)域的深厚積累，深度參與了標(biāo)準中多個關(guān)鍵技術(shù)條目的制定與驗證，尤其在痕量雜質(zhì)識別、檢測限確認和方法學(xué)評估等方面發(fā)揮了重要作用，為標(biāo)準的科學(xué)性與可操作性提供了堅實支撐。