手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
納米壓印系統(tǒng)是微納結(jié)構(gòu)制備的主要設(shè)備，需兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能，而且可以快速的實現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印，可以處理各種不同形狀、滿足處理直徑約10mm的模版和基片，實現(xiàn)大面積、性能穩(wěn)定超表面光學(xué)元件生產(chǎn)，并在國際上優(yōu)先探索并實現(xiàn)空間工程化應(yīng)用,進而提高應(yīng)衛(wèi)星激光通信終端小型化、輕量化水平，大幅度降低激光通信終端光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)鏡片及組件的尺寸，是今后激光通信終端的小型化和輕量化取得重大突破的關(guān)鍵技術(shù)之一。
納米壓印技術(shù)工藝：模板制造、壓印過程(包括模板處理、加壓、脫模過程)及圖形轉(zhuǎn)移過程。納米壓印精度和模板的精度直接相關(guān)；光刻膠材料影響著熱壓溫度和曝光時間；壓印過程中模板與壓印材料之間的對準(zhǔn)、平行度、壓力均勻性、溫度均勻性、脫模技術(shù)等都會影響最終的產(chǎn)品質(zhì)量。在壓印后精細結(jié)構(gòu)檢測方面，一般需要檢測的項目包括：線寬、深度、缺陷、膜厚、粗糙度、翹曲度等，主要用到AFM、SEM、臺階儀、輪廓儀等設(shè)備。
納米壓印較傳統(tǒng)光刻技術(shù)可在采用較低成本的條件下大批量制備具有超高精度的圖形，同時也具有良好的均勻性和可重復(fù)性，此外可以傳統(tǒng)光刻工藝有很大程度的兼容性。納米壓印除了在集成電路領(lǐng)域有著非常廣闊的應(yīng)用前景，同時在光學(xué)領(lǐng)域納米壓印可用來制備周期小于光學(xué)波長的亞波長光柵。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心