RTS-8型四探針測試儀應(yīng)用

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔；    

可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；    

高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）；    

    RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
    儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
    儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
   

RTS-8型四探針測試儀前面板

    RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析點(diǎn)擊放大圖片

技　術(shù)　指　標(biāo) ：    

 測量范圍

    電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；  
 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；
 電阻：10-5～105 Ω；

可測晶片直徑

    140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；    

恒流源

    電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)    

數(shù)字電壓表

    量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；    

四探針探頭基本指標(biāo)

    間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；    

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

    (見探頭附帶的合格證)    

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

    0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字    

整機(jī)測量最大相對誤差

   (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%    

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

    ≤5%    

測試模式

    可連接電腦測試也可不連接電腦測試    

軟件功能（選配）

   軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。    

計算機(jī)通訊接口

    并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。    

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

    溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強(qiáng)光直射；