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長期以來，亞埃級電子顯微分辨率一直局限于像差校正電子顯微鏡，它是理解物質(zhì)的原子結構和性質(zhì)的有力工具。
近日，美國伊利諾伊大學香檳分校(University of Illinois Urbana–Champai)Kayla X. Nguyen，Chia-Hao Lee，Pinshane Y. Huang等，阿貢國家實驗室(Argonne National Laboratory)Yi Jiang等，在Science上發(fā)文，報道了未校正掃描透射電子顯微鏡scanning transmission electron microscope (STEM) 中的電子相干衍射成像，其深亞?？臻g分辨率低至0.44埃，超過了像差校正工具的常規(guī)分辨率，并與它們的最高圖像分辨率相媲美。
Achieving sub-0.5-angstrom-resolution ptychography in an uncorrected electron microscope在未校正的電子顯微鏡中，獲得低于0.5埃分辨率的圖像。
圖1. 未校正和畸變校正的STEMs中扭曲雙層WSe2的ADF-STEM
圖2. 未校正顯微鏡下扭曲雙層WSe2
圖3. 亞埃分辨率的電子相干衍射模擬
圖4. 利用像差技術優(yōu)化電子相干衍射探針
在廣泛使用的商業(yè)顯微鏡中，演示了二維轉(zhuǎn)角材料，遠遠超過了先前未校正的STEM分辨率(1到5埃)。還進一步展示了幾何像差如何為劑量有效的電子成像創(chuàng)造優(yōu)化的結構光束。研究表明，對于深亞埃分辨率，不再需要昂貴的像差校正器。
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FS70系列半導體檢測顯微鏡單元是一款帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導體、液晶基板、樹脂等?？蓱糜谇懈?、修整、校正、 給半導體電路做標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學觀察剖面圖以便探針分析半導體故障。
通用參數(shù)
特點
采用Mitutoyo遠場校正鏡頭
三端輸出設計可輕松接收視頻
轉(zhuǎn)盤可接最多四個物鏡
應用：
切割、修整、校正、 給半導體電路做標記
薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(校正錯誤)。
還可用作光學觀察剖面圖以便探針分析半導體故障。
• 可用于紅外光學系統(tǒng)*。
應用：晶體硅的內(nèi)部觀察；紅外光譜特征分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機。
• 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產(chǎn)品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學系統(tǒng)上的標準配件。
• 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。
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參考文獻： 中國光學期刊網(wǎng)
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