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氧氮氫分析儀是一種用于測定材料中氧(O)、氮(N)和氫(H)元素含量的精密儀器，廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、化工材料等領(lǐng)域。它通過高溫加熱或惰性氣體熔融法，將樣品中的氧、氮、氫元素釋放出來，并通過檢測技術(shù)(如紅外吸收、熱導(dǎo)檢測等)進(jìn)行定量分析。
一、工作原理：
1、樣品處理：
樣品在高溫爐中加熱，或通過惰性氣體(如氦氣、氬氣)熔融，釋放出氧、氮、氫元素。
2、氣體分離：
通過色譜柱或選擇性吸收劑分離氧、氮、氫氣體。
3、檢測技術(shù)：
氧檢測：通常采用紅外吸收法(IR)或庫侖法。
氮檢測：通常采用熱導(dǎo)檢測法(TCD)。
氫檢測：通常采用熱導(dǎo)檢測法或質(zhì)譜法。
4、數(shù)據(jù)分析：
儀器通過校準(zhǔn)曲線或內(nèi)置算法計算樣品中氧、氮、氫的含量。
二、應(yīng)用領(lǐng)域：
1.金屬材料分析：用于鋼鐵、鋁合金、鈦合金等材料中氧、氮、氫含量的測定，評估材料性能。
2.半導(dǎo)體行業(yè)：檢測硅片、晶圓等半導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)含量。
3.陶瓷和粉末冶金：分析陶瓷材料或金屬粉末中的氣體元素含量。
4.科研和實驗室：用于材料科學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域的研究和開發(fā)。
5.質(zhì)量控制：在工業(yè)生產(chǎn)中用于原材料和成品的質(zhì)量檢測。
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