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「應(yīng)用案例」SDS研磨液供液系統(tǒng)液位檢測(cè) 屏蔽泡沫
研磨液供液系統(tǒng)SDS(Slurry Delivery System)是用來(lái)為CMP設(shè)備供給研磨液的。研磨液在SDS和水或雙氧水等按一定比例混配好之后，然后通過(guò)管路再輸送到CMP機(jī)臺(tái)研磨單元的slurry arm 供研磨過(guò)程中使用。因此，SDS能夠提供流量穩(wěn)定不間斷的研磨液，精準(zhǔn)的配比，并且在輸送管路中沒(méi)有結(jié)晶，對(duì)CMP工藝非常重要。
客戶痛點(diǎn)：研磨液在配比和使用過(guò)程會(huì)產(chǎn)生泡沫，普通的電容傳感器在管道上檢測(cè)液位的時(shí)候會(huì)對(duì)泡沫產(chǎn)生誤信號(hào)。
解決方案：訊巴赫智能電容傳感器SCBT 3045,采用電容調(diào)頻技術(shù)和多模態(tài)補(bǔ)償算法，有效屏蔽泡沫，穩(wěn)定檢測(cè)；
產(chǎn)品特點(diǎn)：
電容調(diào)頻技術(shù)和多模態(tài)補(bǔ)償算法，可靠檢測(cè)多種介質(zhì)，抗掛料能力強(qiáng)；
PNP/NPN 常開(kāi)/常閉可設(shè)置；
Teach in模式，可以自動(dòng)識(shí)別物料，有效屏蔽泡沫；
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