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懸臂式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
懸臂式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的一些關(guān)鍵檢驗(yàn)要點(diǎn)：
幾何精度檢驗(yàn)
工作臺(tái)面與移動(dòng)平面平行度：檢驗(yàn)工作臺(tái)面與X、Y移動(dòng)平面的平行度，確保測(cè)量基準(zhǔn)的準(zhǔn)確性。
移動(dòng)直線度：檢驗(yàn)X、Y、Z向移動(dòng)的直線度，每個(gè)坐標(biāo)軸都有兩個(gè)方向的直線度要求。
移動(dòng)角度變化：檢驗(yàn)X、Y、Z方向移動(dòng)的角度變化，每個(gè)坐標(biāo)軸有3個(gè)方向的角度變化要求。
移動(dòng)相互垂直度：檢驗(yàn)X、Y、Z方向移動(dòng)的相互垂直度，總共有3個(gè)垂直度要求。
測(cè)量精度檢驗(yàn)
示值誤差（MPEE）：沿各坐標(biāo)軸測(cè)得的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置讀數(shù)與基準(zhǔn)長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)讀數(shù)的差值，主要為坐標(biāo)位置的點(diǎn)位精度。檢驗(yàn)時(shí)，需通過比較不同長(zhǎng)度尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的校準(zhǔn)值和指示值，評(píng)價(jià)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是否符合規(guī)定的最大允許示值誤差。通常使用三等量塊作為標(biāo)準(zhǔn)器，在測(cè)量空間的多個(gè)方向進(jìn)行測(cè)量，重復(fù)測(cè)量多次以獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。
探測(cè)誤差（MPEP）：通過確定測(cè)量點(diǎn)到最小二乘擬合球球心距離的范圍，評(píng)價(jià)三維探測(cè)誤差是否符合規(guī)定的最大允許探測(cè)誤差。檢驗(yàn)時(shí)，在標(biāo)準(zhǔn)球上選取多個(gè)探測(cè)點(diǎn)進(jìn)行探測(cè)，探測(cè)點(diǎn)須均布，并計(jì)算高斯擬合球以得出探測(cè)誤差。
其他性能檢驗(yàn)
動(dòng)態(tài)誤差：主要來源于測(cè)量部件運(yùn)動(dòng)過程中由于加速度造成的變形，特別當(dāng)測(cè)量面是曲面時(shí)，測(cè)量頭作向心加速度運(yùn)動(dòng)將產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差。動(dòng)態(tài)誤差一般不超過靜態(tài)誤差的10%~30%。
重復(fù)性：在相同條件下，多次測(cè)量同一位置的偏差程度。高重復(fù)性意味著測(cè)量結(jié)果更加穩(wěn)定可靠。
環(huán)境適應(yīng)性：檢驗(yàn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在不同溫度、濕度等環(huán)境條件下的工作穩(wěn)定性和測(cè)量準(zhǔn)確性。
檢驗(yàn)方法與設(shè)備
使用標(biāo)準(zhǔn)器：如量塊、標(biāo)準(zhǔn)球等，作為檢驗(yàn)的基準(zhǔn)。
激光干涉儀：可用于校準(zhǔn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的各軸運(yùn)動(dòng)精度，測(cè)量各軸在運(yùn)動(dòng)過程中的實(shí)際位移，并與測(cè)量機(jī)控制系統(tǒng)所顯示的位移進(jìn)行對(duì)比。
遵循操作規(guī)范：嚴(yán)格按照測(cè)量機(jī)的操作手冊(cè)和校準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行操作，確保檢驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
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