日本電子JEOL肖特基場發(fā)射掃描電鏡IT800產(chǎn)品介紹：

一、日本電子JEOL肖特基場發(fā)射掃描電鏡IT800高分辨率成像能力

JSM-IT800采用浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍，結(jié)合低像差聚光透鏡和Neo Engine電子光學控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了納米級分辨率。其二次電子圖像分辨率在15kV加速電壓下可達0.5nm，即使在1kV低電壓下仍保持0.7nm的高分辨率。這一特性使其在觀察納米材料、半導體器件等微觀結(jié)構(gòu)時具有顯著優(yōu)勢，例如可清晰顯示小于10nm的催化劑顆粒分布。

二、靈活模塊化設(shè)計

多種物鏡選擇：提供五種物鏡模塊，包括通用型混合透鏡（HL）、高分辨率超級混合透鏡（SHL/SHLs）以及專為半導體設(shè)計的半浸沒式物鏡（i/is），滿足從磁性材料到絕緣體的多樣化分析需求。

可擴展探測器系統(tǒng)：配備新型閃爍體背散射探測器（SBED）和多功能背散射探測器（VBED），SBED在低電壓下仍能捕捉清晰的成分對比圖像，而VBED支持3D形貌與成分信息的同步獲取，適用于復雜樣品的多維度分析。

三、智能化操作與高效分析

集成化控制平臺：通過SEM Center圖形界面無縫整合能量色散X射線譜儀（EDS），實現(xiàn)實時成分分析與圖像顯示的無縫切換，提升分析效率。

AI輔助功能：引入LIVE-AI濾鏡優(yōu)化實時圖像質(zhì)量，支持快速聚焦和像散調(diào)整；可選軟件如Smile Navi為新手提供操作導航，降低使用門檻。

自動化調(diào)節(jié)：具備自動合軸、聚焦、消像散等功能，結(jié)合五軸馬達驅(qū)動樣品臺（支持360°旋轉(zhuǎn)和傾斜），簡化復雜操作流程。

四、廣泛適用性與工業(yè)兼容性

JSM-IT800在納米技術(shù)、半導體、材料科學、生物醫(yī)學等領(lǐng)域表現(xiàn)zhuoyue。例如，其超級混合透鏡（SHL）可高效分析磁性材料，無需切換模式；半浸沒式物鏡（i/is）則擅長半導體器件的橫截面故障分析。此外，設(shè)備支持大束流下的高分辨成像（如100nA@5kV），結(jié)合高速元素面分析和EBSD（電子背散射衍射）功能，滿足工業(yè)質(zhì)檢的快速檢測需求。