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臺(tái)式掃描電鏡是一種小型緊湊設(shè)計(jì)的掃描電子顯微鏡
臺(tái)式掃描電子顯微鏡 (簡(jiǎn)稱(chēng) SEM )主要用于各種樣品微細(xì)結(jié)構(gòu)和特征的形貌觀察，適用于生物樣品、醫(yī)學(xué)樣品、環(huán)境樣品、金屬材料、合金材料、陶瓷材料、吸附劑等的形貌觀察和微區(qū)分析。
臺(tái)式掃描電鏡的工作原理與傳統(tǒng)掃描電鏡類(lèi)似，都是利用電子槍發(fā)射出的電子束，經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚焦和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的作用，形成一束能量較高、直徑很細(xì)的電子探針。該電子探針在樣品表面進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，電子束與樣品相互作用，產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào)。這些信號(hào)被探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再經(jīng)過(guò)放大和處理后，在顯示器上顯示出樣品表面的微觀形貌圖像。其中，二次電子信號(hào)是臺(tái)式掃描電鏡主要利用的成像信號(hào)，高能電子束轟擊樣品表面激發(fā)出的二次電子，其信號(hào)強(qiáng)度與樣品表面形貌有一定對(duì)應(yīng)關(guān)系，可將信號(hào)強(qiáng)度差異轉(zhuǎn)換為圖像中不同區(qū)域的亮度差異，從而得到樣品表面的形貌圖像。
臺(tái)式掃描電鏡通常具有緊湊的整體結(jié)構(gòu)，將電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)等集成在一個(gè)較小的機(jī)箱內(nèi)，體積通常明顯小于傳統(tǒng)的大型掃描電鏡，占用空間小，便于安裝和使用。此外，其真空系統(tǒng)相對(duì)簡(jiǎn)單，能夠快速達(dá)到所需的真空度，且操作和維護(hù)相對(duì)容易。
臺(tái)式掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。例如，在材料科學(xué)中，它可以用于觀察金屬材料的微觀組織、陶瓷材料的晶粒結(jié)構(gòu)、高分子材料的表面形貌等，幫助研究人員了解材料的微觀結(jié)構(gòu)與性能之間的關(guān)系，進(jìn)行材料的研發(fā)和質(zhì)量控制。此外，臺(tái)式掃描電鏡還適用于生物樣品、高分子材料等對(duì)電子束敏感的樣品，因其較低的加速電壓可以減少對(duì)樣品的損傷。
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