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特點(diǎn)

驚人的測(cè)量速度

通過采用新的智能算法以及新型相機(jī)，達(dá)到驚人的測(cè)量速度。數(shù)據(jù)采集速度達(dá)180 fps。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量采集速度比以前快5倍。S neox成為市場(chǎng)上速度極快的表面測(cè)量系統(tǒng)。

易于使用

Sensofar致力于為客戶提供最令人難以置信的體驗(yàn)。隨著第五代S neox系統(tǒng)的誕生，我們的目標(biāo)是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學(xué)者，只需點(diǎn)擊一下，即可操作測(cè)量。模塊化設(shè)計(jì)的軟件，使系統(tǒng)適應(yīng)用戶多樣的需求。

功能靈活多樣

質(zhì)量管理

豐富的自動(dòng)化模塊，方便進(jìn)行質(zhì)量管控。從操作員訪問權(quán)限控制、測(cè)量程序存儲(chǔ)、兼容性到條形碼/QR讀取器，以及我們專用SensoPRO軟件中的定制插件，都可以自動(dòng)生成分析報(bào)告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在QC環(huán)境中工作，其具有靈活性和易于使用的界面，可編程并24小時(shí)工作。

研發(fā)

Ssnsofar的三合一方法只需點(diǎn)擊一次，系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的掃描方式。在S neox傳感器頭中配置三種測(cè)量技術(shù)：共聚焦、干涉、Ai多焦面疊加，這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻(xiàn)，并有助于非常有效地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)。S neox是所有實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的理想之選，適用范圍廣泛。

四合一技術(shù)

1）共聚焦模式

共聚焦技術(shù)可以用來測(cè)量各類樣品表面的形貌，它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.10um.利用它可以實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。

共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

2）相位差/白光干涉模式

相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。

白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。

3)多焦面疊加模式

多焦面疊加技術(shù)是用來測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)我們?cè)诠簿劢购透缮婕夹g(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(最大86°)。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

4)薄膜

薄膜測(cè)量技術(shù)快速、準(zhǔn)確、無損地測(cè)量光學(xué)透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較，準(zhǔn)確地找到匹配的厚度。可以在不到一秒鐘的時(shí)間內(nèi)測(cè)量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測(cè)量光斑取決于物鏡放大率，范圍從0.5μm到40μm。

LED光源的優(yōu)勢(shì)

用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢(shì)，首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象。其次LED光源的使用壽命約50000小時(shí)（約25倍于激光）。最重要的是多個(gè)LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇適合的波長(zhǎng)來測(cè)量。選用：630nm紅光、530nm綠光、460nm藍(lán)光、 575nm白光。

可追溯的精確測(cè)量

每一臺(tái)SNEOX都是為了實(shí)現(xiàn)精確且可追溯地測(cè)量。我們的設(shè)備使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600標(biāo)準(zhǔn)的可追溯標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行校正。所有的指標(biāo)，包括高度及水平精度、平面度偏差、系統(tǒng)分辨率等都以測(cè)量此類標(biāo)準(zhǔn)塊而得到。我們堅(jiān)持所有的測(cè)量設(shè)備按照此標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。

S neox出廠前都采用已計(jì)量、可追溯的標(biāo)準(zhǔn)塊做校正，并且確認(rèn)符合標(biāo)準(zhǔn)才會(huì)出廠。同時(shí)SENSOFAR會(huì)隨設(shè)備附上測(cè)量精度和重復(fù)性的檢測(cè)報(bào)告。

高分辨率

垂直分辨率受到儀器噪聲的限制，儀器噪聲對(duì)于干涉測(cè)量是固定的，但共聚焦測(cè)量依賴的數(shù)值孔徑。Sensofar專有算法以光學(xué)儀器更佳的橫向分辨率為測(cè)量技術(shù)提供納米級(jí)系統(tǒng)噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3nm) 原子層，由PTB提供。

DIC觀察

微分干涉 (DIC) 用于強(qiáng)調(diào)在正常觀察中沒有對(duì)比度的非常小的高度特征。通過使用 Nomarski棱鏡，產(chǎn)生了干涉圖像，解決了在明視場(chǎng)或共聚焦圖像中不可見的亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)。

設(shè)計(jì)

多樣的配置方案-平臺(tái)尺寸（從4寸到12寸）

超大尺寸支架

軟件-引導(dǎo)式系統(tǒng)

SensoSCAN軟件通過清晰、直觀且用戶友好的界面驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。用戶將被引導(dǎo)瀏覽3D環(huán)境，獲得良好的用戶體驗(yàn)。

自動(dòng)化程序模塊

自動(dòng)測(cè)量模塊讓客戶更容易地實(shí)現(xiàn)自定義編程，完成質(zhì)量管理和檢測(cè)的目標(biāo)。手動(dòng)設(shè)定測(cè)量點(diǎn)坐標(biāo)或?qū)胱鴺?biāo)文件，為每個(gè)坐標(biāo)或批量設(shè)定量測(cè)程序，再設(shè)定自動(dòng)影像識(shí)別對(duì)位點(diǎn)，最后定義公差范圍及報(bào)告輸出格式就完成了所有的編程工作。

多點(diǎn)編程測(cè)量

SNEOX設(shè)計(jì)了一個(gè)全新的編程方式。即通過自動(dòng)識(shí)別相同的結(jié)構(gòu)或產(chǎn)品類型，程序會(huì)在相同的位置復(fù)制測(cè)量點(diǎn)位和程序。這將極大地提高編程的效率，節(jié)省了人員編程的時(shí)間。

自動(dòng)識(shí)別對(duì)位點(diǎn)

通過影像自動(dòng)識(shí)別對(duì)位點(diǎn)并自動(dòng)進(jìn)行位置補(bǔ)正，從而實(shí)現(xiàn)了無人干預(yù)的全自動(dòng)化測(cè)量。使原來手動(dòng)抽檢的臺(tái)式機(jī)變身為只要手動(dòng)放完片就可以自動(dòng)測(cè)量完并給出報(bào)告的半自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備。自動(dòng)對(duì)位點(diǎn)識(shí)別的功能也是離線抽檢設(shè)備走向工業(yè)4.0的能力。

擴(kuò)展測(cè)量模塊-最高可達(dá)500Mpx

SensoSCAN 的擴(kuò)展測(cè)量模塊讓用戶可以通過概覽圖像輕松地在表面上定義測(cè)量布局。測(cè)量區(qū)域可被自動(dòng)裁剪為需要的矩形、圓形或環(huán)形區(qū)域。適用于高達(dá) 5 億像素的大面積測(cè)量。提供多種掃描策略，例如對(duì)每個(gè)視場(chǎng)進(jìn)行自動(dòng)聚焦，或聚焦跟蹤，以便最小化垂直掃描范圍。

SensoVIEW強(qiáng)大的分析軟件

3D和2D交互式視圖提供多種比例、顯示和渲染選項(xiàng)。提供工具套裝，適用于對(duì)3D或2D測(cè)量進(jìn)行初步檢查和分析。測(cè)量臨界尺寸、角度、距離、直徑，以及使用新的注釋工具突出顯示特點(diǎn)。

易于使用、簡(jiǎn)潔卻強(qiáng)大、專為您設(shè)計(jì)

Sensofar系統(tǒng)配備的這一款動(dòng)態(tài)軟件提供一整套用戶友好的工具，用于顯示并分析測(cè)量值。用戶將得到培訓(xùn)和指導(dǎo)，熟悉3D環(huán)境，獲得良好的用戶體驗(yàn)：只需單擊一次就可調(diào)用運(yùn)算符、設(shè)計(jì)風(fēng)格引人注目的圖標(biāo)、更容易理解的功能、同步的 3D、2D和剖面視圖，這些都只是SensoVIEW軟件主要特征的一部分。

1）選擇您自己的視圖：3D和2D交互式視圖提供多種比例、顯示和渲染選項(xiàng)。

2）處理您的數(shù)據(jù)：處理數(shù)據(jù)信息或生成備選層的全套運(yùn)算符。

3）與分析工具交互：對(duì)3D或2D測(cè)量值進(jìn)行初步檢查和分析需要的多種分析工具。

4）您的分析應(yīng)用：創(chuàng)建分析模板將一系列測(cè)量結(jié)果，使用相同的預(yù)設(shè)流程進(jìn)行分析。

5）獲取您的結(jié)果：獲取可定制報(bào)告，或者以多種格式導(dǎo)出3D測(cè)量數(shù)據(jù)。

ISO參數(shù)-關(guān)鍵參數(shù)的智能計(jì)算工具

SensoVIEW分析軟件提供了一個(gè)具體的步驟指南，根據(jù)ISO 21920和25178獲得粗糙度參數(shù)的表面紋理參數(shù)，根據(jù)ISO 12781獲得平整度參數(shù)的表面紋理參數(shù)。這是滿足粗糙度和波紋度ISO標(biāo)準(zhǔn)的方法，簡(jiǎn)化了分析過程。

ISO 21920計(jì)算

它根據(jù)ISO 21920自動(dòng)濾除主波形，并會(huì)得到粗糙度(Rx)和波紋度(Wx)參數(shù)。參數(shù)的計(jì)算包括一組預(yù)定義的運(yùn)算符、濾波器（F-運(yùn)算符、S-濾波器和L-濾波器）以及其他設(shè)置 。

ISO 25178計(jì)算

專為不太了解ISO濾波器的用戶設(shè)計(jì)，現(xiàn)在，他們只需選擇要分析的表面類型，就可提取出這些信息。該運(yùn)算符根據(jù)ISO25178標(biāo)準(zhǔn)過濾表面，并得到表面紋理參數(shù)。

ISO 1278計(jì)算

SensoVIEW可以根據(jù)ISO 12781輕松提取四個(gè)平整度參數(shù)：峰谷比（FLTt）、峰參考比（FLTp）、參考谷比（FLPv）和均方根（FLTq）。

ISO標(biāo)準(zhǔn)-表面紋理表征

ISO 25178：幾何產(chǎn)品規(guī)范 (GPS)–表面紋理：面層標(biāo)準(zhǔn)是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織面向3D面層表面紋理的分析，收集整理的相關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。這是涉及3D表面紋理規(guī)范和測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，特別是定義了3D表面紋理參數(shù)及相關(guān)規(guī)范運(yùn)算符。

按照 ISO 25178 計(jì)算表面參數(shù)：

高度參數(shù)（Z 軸方向的高度值）
空間參數(shù)（數(shù)據(jù)的空間周期性）
混合參數(shù)：（數(shù)據(jù)的空間形狀）
功能參數(shù)（從材料比值曲線、表面形貌、谷底與坡面計(jì)算出的參數(shù)）
功能體積參數(shù)（根據(jù)材料比率曲線計(jì)算體積）

測(cè)量顯示-更銳利的可視化形貌

圖像控制選項(xiàng)一直在不斷發(fā)展，更好的滿足所有樣本類型及客戶需求，多種圖像處理設(shè)置包含在每個(gè)渲染可視化選項(xiàng)中，同時(shí)提供縮放選項(xiàng)，調(diào)節(jié)更方便。

自動(dòng)管理的渲染視圖

五種智能可視化模式（錯(cuò)誤顏色、堆疊、堆疊 & 錯(cuò)誤顏色、正確顏色或方向亮度）始終可

以在主屏幕上隨心選擇。

自動(dòng)流設(shè)置

用戶能自由控制不同參數(shù)，比如縮放范圍、Z 軸、堆疊、顏色和陰影設(shè)置。

波形工具

對(duì)于顯示圖像和3D測(cè)量值，有幾個(gè)波形選項(xiàng)可供選用：水平、垂直、圓形、頂部/底部、

自由或平均波形?？捎酶鞣N關(guān)鍵尺寸工具分析波形數(shù)據(jù)。

結(jié)果-可自定義的報(bào)告

由于可從不同報(bào)告模板中選擇，用戶可配置每個(gè)部分，盡可能滿足他們的要求。對(duì)于每次測(cè)量，獲得清楚、結(jié)構(gòu)合理的報(bào)告的靈活方式，除了其他內(nèi)容，還可顯示采集信息、3D數(shù)據(jù)、2D 輪廓和所有ISO參數(shù)。

1）創(chuàng)建自己的頁(yè)眉和頁(yè)腳

2）將內(nèi)容設(shè)置為您所需

3）選擇樣式以顯示您的結(jié)果

4）Excel & PDF格式，可隨意編輯

可導(dǎo)出多種格式的 3D圖像

有幾個(gè)選項(xiàng)可用于管理輸出文件。在SensoVIEW分析軟件中保存測(cè)量時(shí)，原始數(shù)據(jù)始終被保留。測(cè)量表面數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出為*.dat、*.stl、*.pcl和*.x3p格式。

具有統(tǒng)計(jì)計(jì)算的可導(dǎo)出結(jié)果

應(yīng)用模板后，用戶可以導(dǎo)出包含了所有關(guān)鍵尺寸，并按尺寸類型或編號(hào)分類好的統(tǒng)計(jì)信息的Excel文件。

SensoPRO快速質(zhì)量控制

在生產(chǎn)線上執(zhí)行快速質(zhì)量控制從未顯得如此簡(jiǎn)單。得益于SensoPRO，生產(chǎn)線操作員只需要加載樣品并按照引導(dǎo)式說明操作即可?；诓寮臄?shù)據(jù)分析算法提供了高度的靈活性。全新模塊可供輕松定制，以適應(yīng)其他行業(yè)的需求。

市場(chǎng)-為每種應(yīng)用量身打造的解決方案

對(duì)于那些在我們的其他可用套餐中找不到他們需要的功能的客戶，我們的開發(fā)團(tuán)隊(duì)可提供定制解決方案。我們憑借工程師的專業(yè)知識(shí)，尋求適合所需應(yīng)用的解決方案。

消費(fèi)類電子產(chǎn)品

消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場(chǎng)包括半導(dǎo)體、印刷電路板 (PCB) 和顯示器行業(yè)等。鑒于其速度和自動(dòng)化能力，SensoPRO已成為了許多應(yīng)用領(lǐng)域的真正省錢利器。

醫(yī)療設(shè)備

醫(yī)療市場(chǎng)有著極其嚴(yán)格的質(zhì)量控制和質(zhì)量保證標(biāo)準(zhǔn)。Sensofar的3D光學(xué)輪廓儀可對(duì)制造過程進(jìn)行快速、無損且準(zhǔn)確的控制，并可對(duì)表面紋理進(jìn)行質(zhì)量控制。

工裝

刀具的設(shè)計(jì)和制造直接影響最終用戶行業(yè)的生產(chǎn)質(zhì)量。SensoPRO在分析螺紋牙底、牙面和牙頂?shù)某叽鐪y(cè)量值或計(jì)算刀片和其他切削工具的刀刃半徑時(shí)非常快速。

自動(dòng)化-工作原理

這套64位數(shù)據(jù)分析解決方案為QA工程師和技術(shù)員快速、簡(jiǎn)便地分析生產(chǎn)參數(shù)提供了環(huán)境。SensoPRO可鏈接至采集軟件 (SensoSCAN)，從而測(cè)得的數(shù)據(jù)可自動(dòng)傳輸?shù)絊ensoPRO進(jìn)行分析。一旦配置完畢，單擊一次就可采集和分析測(cè)量數(shù)據(jù)。

性能-QC 經(jīng)理的管理工具

光學(xué)輪廓儀的變革性創(chuàng)新，極大地改善了其可用性，簡(jiǎn)化了創(chuàng)建參數(shù)記錄文檔時(shí)以及通過比較兩組數(shù)據(jù)確定哪些是控制生產(chǎn)線的關(guān)鍵參數(shù)時(shí)設(shè)置公差的任務(wù)。專為需要可追溯生產(chǎn)控制的非專業(yè)用戶設(shè)計(jì)。

性能-極其快速

由于現(xiàn)在可以利用多個(gè)內(nèi)核，大量的操作可同時(shí)執(zhí)行，從而提高了系統(tǒng)總體性能。輕松處理更大的文件和/或更大的多個(gè)數(shù)據(jù)集。

性能-有命令行可用

此工具使SensoPRO的批量分析工作可以獨(dú)立運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)了用Sensofar系統(tǒng)批量采集的同時(shí)集中分析。將此解決方案與SensoSCAN SDK相結(jié)合，我們可以一邊進(jìn)行測(cè)量，一邊進(jìn)行分析（在單獨(dú)的計(jì)算機(jī)上），加快QC過程。命令行是從其他軟件調(diào)用SensoPRO分析軟件的一種簡(jiǎn)便方式。

結(jié)果-參數(shù)統(tǒng)計(jì)分析模塊

一旦分析完成，每個(gè)參數(shù)的結(jié)果和標(biāo)準(zhǔn)偏差就顯示在表上。如果應(yīng)用了任何公差，這些公差將在匯總部分突出顯示。

高級(jí)分析軟件

SensoMAP是一款功能強(qiáng)大的分析和報(bào)告工具，它是基于Digital Surf的Mountains技術(shù)而開發(fā)。SensoMAP軟件已模塊化，以適應(yīng)客戶需求。SensoMAP提供兩個(gè)級(jí)別（標(biāo)準(zhǔn)和進(jìn)階）和多個(gè)模塊（2D、3D或4D模塊、進(jìn)階輪廓、顆粒和粒子、統(tǒng)計(jì)和拼接）。

易于使用-極其強(qiáng)大的報(bào)告創(chuàng)建功能

專為各種各樣的研究和工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，SensoMAP軟件是表面成像、分析和測(cè)量解決方案，可集成在Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀中。包括：

1）成像-用前沿的成像技術(shù)和智能濾波器可視化表面數(shù)據(jù)。

2）測(cè)量學(xué)-按照每一項(xiàng)最新標(biāo)準(zhǔn)和方法進(jìn)行分析研究。

3）報(bào)告創(chuàng)建-在智能桌面發(fā)布環(huán)境中創(chuàng)建詳細(xì)、精確的多頁(yè)表面分析報(bào)告，強(qiáng)大的自動(dòng)化功能加快分析過程。

可選模塊

▄ 包含的模塊                        — 可選模塊

規(guī)格

設(shè)備尺寸（mm/英寸）

 基座和立柱

控制器

技術(shù)

光源

物鏡性能-明場(chǎng)

物鏡性能-干涉

共聚焦/Ai多焦面疊加

1.最大視場(chǎng)系3/2"攝像頭及光學(xué)0.5X。  

2.表面的像素大小。

3.L&S:線條和空間, 藍(lán)光波長(zhǎng)。

4.根據(jù)比較連續(xù)兩次在垂直于光軸的校準(zhǔn)鏡片得到的差異計(jì)算系統(tǒng)噪音值。  

5.在光滑表面上，最多71o，在散射表面上高達(dá)86o。

XY軸性能

Z軸性能

系統(tǒng)配置

計(jì)算機(jī)和操作系統(tǒng)